| TTC ID | 5INSkla-can-G12093 |
|---|---|
| Maker | KLA Tencor |
| メーカー | KLAテンコール |
| 型式 | Candela CS10R |
| Description | Inspection/Defect |
| 品名・仕様 | 表面欠陥検査装置 |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 1 |
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