| TTC ID | 5INSkla-sfs-A11947 |
|---|---|
| Maker | KLA-Tencor |
| メーカー | KLA-Tencor |
| 型式 | SFS 6420 |
| Description | insp: Particle inspection/ 8in. |
| 品名・仕様 | パーティクル検査機/ 8in. |
| 年式 | 1995 |
| 台数 | 1 |
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