| TTC ID | 1POLspe-36g-G11879 |
|---|---|
| Maker | SPEEDFAM |
| メーカー | スピードファム |
| 型式 | 36GPAW |
| Description | Polishing: Single Side |
| 品名・仕様 | 片面研磨機 |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 11 |
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