| TTC ID | 6CMPspe-36g-G11806 |
|---|---|
| Maker | SPEEDFAM |
| メーカー | スピードファム |
| 型式 | 36GPAW |
| Description | cmp: Polishing: Single Side |
| 品名・仕様 | 片面研磨機 |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 3 |
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