| TTC ID | 1SPUopt-wp0-S11634 |
|---|---|
| Maker | Optorun |
| メーカー | オプトラン |
| 型式 | WP0-1300 |
| Description | Sput: Deposition system |
| 品名・仕様 | 成膜装置 |
| 年式 | 2008 |
| 台数 | 1 |
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