| TTC ID | 6CVDaix-cri-G11439 |
|---|---|
| Maker | AIXTRON |
| メーカー | AIXTRON |
| 型式 | CRIUS II X-L |
| Description | CVD: MOCVD/4in. |
| 品名・仕様 | MOCVD/4in. |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 24 |
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