| TTC ID | 6CVDaix-ts -A10744 |
|---|---|
| Maker | Aixtron |
| メーカー | Aixtron |
| 型式 | TS Crius |
| Description | CVD: MOCVD/2in. |
| 品名・仕様 | MOCVD/2in. |
| 年式 | 2007 |
| 台数 | 1 |
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