| TTC ID | 9DICser-6in-A10530 |
|---|---|
| Maker | SERVENO |
| メーカー | SERVENO |
| 型式 | 6in/425 375 1000mm |
| Description | DIC:Wafer expander |
| 品名・仕様 | ウェーハエキスパンダー |
| 年式 | 1997 |
| 台数 | 1 |
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