| TTC ID | 5OTHama-vsb-G10183 |
|---|---|
| Maker | AMAT(Varian) |
| メーカー | アプライド・マテリアルズ |
| 型式 | VSBD302 |
| Description | OTH:Leak Detector |
| 品名・仕様 | リークディテクタ |
| 年式 | inq |
| 台数 | 1 |
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